RTA超高真空快速退火炉

型号：自研非标 沈阳科仪

关键参数：上下加热炉最高设定加热温度：1000℃

          样品最高加热速率：50℃/s，即样品常温升温至1000℃最少20s          

炉丝最高加热速率：50℃/min，可根据程序精准控制          

设定上下炉温1000℃时真空度：优于5×10^-8 Torr

加热控温精度：1℃

温度均匀性：优于5%

工艺气体：N₂；H₂；A_r

气体流量：小于20sccm

可处理的样品尺寸：2英寸

预约提醒：

1. 设备适用于处理两英寸样品，样品尺寸不符合的应准备样品托进样

2. 样品带光刻胶导电胶等有机物不可进行工艺

3. 处理温度不可超过样品熔点

4. 规定设定温度大于800℃保温时间不超过10min，有特殊处理需求应提前和项目联络人申请