椭偏仪光源发生器及设备测试台

型号：椭偏仪 J.A.Woollam iSE

关键性能参数：

功能：测量薄膜材料厚度及n与k值 

工作压力：大气或真空 

样品尺寸:  2英寸~8英寸

波长范围：400~1000nm

波长点数：190个

测试固定角度：45°

应用范围

  椭偏仪在薄膜厚度测量方面具有巨大优势，相较于传统探针测量，椭偏仪既不损伤样品表面，又能测试极薄样品。其原理是通过接收不同材料反射光的差异，使用数学模型拟合计算得出所测薄膜的厚度及n，k信息。适用于各种氧化物、氮化物、金属等材料薄膜厚度的测量。测试精度小于0.1nm。

设备特色

 可适用于各种材料薄膜厚度的测量。

 测试精度小于0.1nm

 能够对材料本身的n，k值进行测量

 开放材料测试数学模型的搭建

应用领域

 各种氮化物，氧化物，金属薄膜厚度的测试

 薄膜材料均匀性，致密性的分析