4. 扫描电子显微镜（SEM（CL））

仪器生产商： XXX

资产编号： SN201710038

资产负责人： ----

购买经办人： ----

主要配件： ----

主要参数： ----

仪器介绍：

一、设备型号、关键性能参数：

型号：Nova NanoSEM450

关键性能参数：

工作压力：高真空（4×10-4Pa）
电子束分辨率：≤1.0nm @ 15kV ≤1.4nm @ 1kV （二次电子）
着陆电压：50V-20kV
电子束流强度：0.6pA-200nA
能谱探测器：分析元素范围Be4~U92能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV
阴极发光光谱仪：光谱探测范围185-900 nm，具有角度分辨成像功能

二、设备原理：

SEM（扫描电子显微镜）从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。利用电子和物质的相互作用，能够获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测信息得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，从而获得有关物质微观形貌的信息。

三、应用范围：

快速高分辨的表面显微结构成像
快速的元素分析表征

四、设备特色：

配备极靴内二次电子探测器(可探测二次电子、背散射电子或二者的混合像)具有高级的样品清洁系统大探测电流200nA一种新的光学模式-减速模式(BD)具有高低真空样品扫描成像模式。阴极发光光谱仪探测光谱范围从深紫外到近红外，具有角度分辨成像能力。

五、应用领域：

工业产品、生物医学/生物技术、半导体、光学领域、涂层等

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	需审核	需审核
普通资格	免审核	需审核
资深资格	免审核	免审核

序号	标题	文件数量	添加时间	操作
1	SEM+CL-操作手册	1	2019-12-06 14:50:02	文件下载

4. 扫描电子显微镜（SEM（CL））

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