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1.2 固液气混合源分子束外延设备（固液气MBE）
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2.3 HF气相刻蚀设备
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2.3 MBE-原位生长动力学研究设备
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2.3 原位Mask器件级图案化分子束外延设备
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1.3 有机-无机MBE集联系统
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1.3 脉冲激光沉积系统
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1.1 高温金属有机化合物化学气相沉积设备
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双腔室分子束外延设备
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金属有机物化学气相沉积设备
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1.1 手套箱集联系统-复杂环境手套箱
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1.1 手套箱集联系统-二维手套箱
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1.1 手套箱集联系统-锂电手套箱
| 仪器名称 | 2026-10-12(周一) | 2026-10-13(周二) | 2026-10-14(周三) | 2026-10-15(周四) | 2026-10-16(周五) | 2026-10-17(周六) | 2026-10-18(周日) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1.3 真空管式炉-1 | 09:00-19:00 已被预约 | ||||||
| 2.4 椭偏仪 | |||||||
| 3.2 二维（掠入射）小角/广角 X射线散射线站（2D（GI）SAXS/WAXS） | 16:10-21:10 已被预约 | 08:00-12:00 已被预约 | 14:00-16:00 已被预约 | ||||
| 1.2 固液气混合源分子束外延设备（固液气MBE） | |||||||
| 2.3 HF气相刻蚀设备 |
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 3.2 扫描电子显微镜（SEM（CL））
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 3.2 红外近场光学显微镜（SNOM）
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仪器名称： 3.2 扫描电子显微镜（SEM（CL））
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仪器名称： 1.2 氧化物分子束外延（（O）MBE）
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仪器名称： 3.3 聚焦离子束显微镜（FIB）
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仪器名称： 3.3 聚焦离子束显微镜（FIB）
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