一、设备型号、关键性能参数

设备型号：定制。按功能性划分，分为光电手套箱（内置荧光外量子效率测量系统）、锂电手套箱（内置金属镀膜机，氩气氛保护）、二维材料手套箱（内置二维材料转移系统）和复杂环境手套箱（内置匀胶机，提供多种气氛控制，大过渡舱加热）。

关键性能参数：箱内水含量低于1ppm、氧含量低于1ppm；箱体背部配有DN40KF法兰预留口8个；

二、设备原理

手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备，主要对O₂，H₂O，有机气体的清除，产生特定气氛保护下的实验环境，广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境。

三、应用范围

通过提供隔绝水氧的环境，助力于对环境气氛要求较高的应用场景，提供惰性气氛下材料的制备、生长、测试、保存。

四、设备特色

根据设备接入和功能性，四台手套箱的分工如下：

1.光电手套箱：此手套箱定位和功能性未作调整，目前内置荧光外量子效率测试仪一台，用于测试钙钛矿等电池器件的外量子效率。正在调研用于测试量子反射的量子效率仪器，在手套箱的另一侧工位处使用。

特色配套设备：荧光外量子效率测试仪 1台

2.锂电手套箱（原蒸镀手套箱）：由于设计定位为碱金属的金属蒸镀，该手套箱的气氛换成了氩气钢瓶气，可以兼容锂、钠等碱金属电池的保存和装配。前期戚亚冰院士团队合作拟开展的蒸镀试验，手套箱接入了可以连接电池测试系统的航插线，进一步支持了电池类研究的应用。

特色配套设备：金属蒸镀设备 1台

3.二维手套箱：在平台购置的二维材料转移系统的基础上，需要一台专门用于二维材料转移堆叠的手套箱为之服务，且不能有金属粉尘（蒸镀）和水氧气体对设备进行腐蚀。因此将电化学手套箱服务所内外二维材料在惰性气氛下的转移堆叠使用。

特色配套设备：二维材料转移系统 1台

4.复杂环境手套箱：该手套箱现已兼容湿度、气氛控制下的材料制备，同时借助大舱的加热功能，可以对不同材料体系的制备有较高的兼容性。

特色配套设备：匀胶机 1台，旋转加热台 1台。

五、应用领域

锂离子电池及材料、半导体材料器件、二维材料、钙钛矿电池、金属镀膜、激光焊接等领域。

仪器介绍：金属镀膜机

一、设备型号、关键性能参数

型号为定制

关键性能参数：

二、设备原理

真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点-岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。

三、应用范围

广泛应用于电子信息、新能源、光学、生物医疗等多个领域。 在电子信息领域，蒸镀材料主要用于制造半导体器件、显示屏幕、太阳能电池等；在新能源领域，则用于制造薄膜太阳能电池、锂电池等；光学领域则应用于光学薄膜、镜片等；生物医疗领域则用于医疗器械的表面处理。

四、设备特色

真空室：真空室全部采用SUS304不锈钢制成，尺寸大致为400 mm×400 mm，真空室装有前后快开门，打开后可以对腔体内部进行维护，配有观察窗，观察窗配有挡板。腔体的极限真空度为6×10^-6 Pa，设备泄露率＜7×10^-8 Pa·L/s。

基片装置：磁流体传动的水冷旋转基片架，基片最大尺寸为10×10 cm，基片架转速为0-20 转/分（转速可调），掩膜版与基片间的间隙为0。蒸发源与基片架的距离为250-350 mm在线可调。基片总挡板，气动控制，通过触摸屏操作。真空室配有衬板系统，衬板采用SUS304钢材质，便于清洗及更换，减小了真空室的污染。保证真空室清洁，对器件质量的提升有很大的帮助。

蒸发源：设备共有2个金属蒸发源，蒸发源兼容蒸镀金属以及有机，水冷电极式金属蒸发源。蒸发源都配有独立防污罩，防止源与源之间的污染。金属源采用水冷电极，配TDK直流电源8-180A，蒸发舟尺寸为80 mm。

膜厚测量：膜厚仪inficon 310高清晰有源矩阵彩色LCD显示器，提供有英文界面和中文界面，使用但传感器或多传感器监控源材料，提供的源分布监控。1个水冷膜厚探头，安装在蒸发源上方带探头支架，每两个共用一个探头。

控制系统：设备采用触摸屏控制+PLC，设备的操作在触摸屏上完成，尺寸为10英寸，控制包括机械泵、分子泵、阀启停；在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统；基片台的旋转，基片的选择，基片总挡板的开关；蒸发源挡板的开关。

照明以及烘烤系统：设备烘烤系统采用热辐射烘烤，功率为500W，烘烤温度室温-80℃，照明灯为碘钨灯，24V250W，上下各一个。

五、应用领域

支持锂、钠、铜等熔点不高于2000℃的金属材料的热蒸镀。