仪器介绍：功能手套箱

一、设备型号、关键性能参数

设备型号：定制。按功能性划分，分为光电手套箱（内置荧光外量子效率测量系统）、锂电手套箱（内置金属镀膜机，氩气氛保护）、二维材料手套箱（内置二维材料转移系统）和复杂环境手套箱（内置匀胶机，提供多种气氛控制，大过渡舱加热）。

关键性能参数：箱内水含量低于1ppm、氧含量低于1ppm；箱体背部配有DN40KF法兰预留口8个；

二、设备原理

手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备，主要对O₂，H₂O，有机气体的清除，产生特定气氛保护下的实验环境，广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境。

三、应用范围

通过提供隔绝水氧的环境，助力于对环境气氛要求较高的应用场景，提供惰性气氛下材料的制备、生长、测试、保存。

四、设备特色

根据设备接入和功能性，四台手套箱的分工如下：

1.光电手套箱：此手套箱定位和功能性未作调整，目前内置荧光外量子效率测试仪一台，用于测试钙钛矿等电池器件的外量子效率。正在调研用于测试量子反射的量子效率仪器，在手套箱的另一侧工位处使用。

特色配套设备：荧光外量子效率测试仪 1台

2.锂电手套箱（原蒸镀手套箱）：由于设计定位为碱金属的金属蒸镀，该手套箱的气氛换成了氩气钢瓶气，可以兼容锂、钠等碱金属电池的保存和装配。前期戚亚冰院士团队合作拟开展的蒸镀试验，手套箱接入了可以连接电池测试系统的航插线，进一步支持了电池类研究的应用。

特色配套设备：金属蒸镀设备 1台

3.二维手套箱：在平台购置的二维材料转移系统的基础上，需要一台专门用于二维材料转移堆叠的手套箱为之服务，且不能有金属粉尘（蒸镀）和水氧气体对设备进行腐蚀。因此将电化学手套箱服务所内外二维材料在惰性气氛下的转移堆叠使用。

特色配套设备：二维材料转移系统 1台

4.复杂环境手套箱：该手套箱现已兼容湿度、气氛控制下的材料制备，同时借助大舱的加热功能，可以对不同材料体系的制备有较高的兼容性。

特色配套设备：匀胶机 1台，旋转加热台 1台。

五、应用领域

锂离子电池及材料、半导体材料器件、二维材料、钙钛矿电池、金属镀膜、激光焊接等领域。

仪器介绍：匀胶机（旋涂仪）

一、设备型号、关键性能参数

设备型号：北京中科微控KW-4BC型智能程控匀胶机

关键性能参数：

二、设备原理

匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。

三、应用范围

主要用于晶片涂光刻胶，光伏电池材料与器件等领域，适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。

四、设备特色

在满足常规功能性的前提下，该设备包含：1.配方带掉电保护功能；2.加速度可调；3.带防飞片保护与报警；4.带防进胶保护与报警；5.带自动取片提示功能。

五、应用领域

半导体器件制备：制备晶体管、太阳能电池、光伏器件等半导体器件的电极、介质和敏感层材料；

光电子器件制造：制备液晶显示器、OLED显示器、LED器件等光电子器件薄膜材料；

生物医学传感器制造：生物医学传感器的敏感材料等；

纳米材料制备：制备纳米粒子、纳米线和纳米薄膜等材料，其制备过程对材料结构和形貌具有一定控制作用。