仪器生产商： XXX
资产编号： SN202004004
资产负责人： ----
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： Plasma power:0-500 W Base pressure: <1E-8 Torr Gas: N2, H2, Ar Sample heating temperature : < 800 °C Working distance: 180-230 mm Sample station rotate: 0-30 RPM 25 °incidence angle to the sample surface normal
仪器介绍：
一、设备型号、关键性能参数
型号：Uni-Bulb RF
plasma
关键参数：
离子源功率：≤500 W
设备真空度：背底10-8 Torr；
反应气体：N2；H2；Ar
样品加热温度：不超过800℃
工作距离：180~230 mm
样品台转速：0-30 RPM
关键尺寸：入射角与表面法线25°
可应用的样品尺寸：2英寸
二、设备原理：
高频电流流经感应线圈产生高频电磁场，工作气体从而被电离成为等离子体。等离子体在电场和磁场的作用下加速运动轰击样品表面，在样品表面产生一些挥发性气体的同时对表面具有刻蚀作用。因此可以利用设备对样品表面进行等离子体清洗，从而避免湿法清洗液体带来的介质污染。用户可通过调节射频源的功率调整等离子体的运动速度，样品放置的工作距离等，达到期望的清洗效果。
三、应用范围：
获得原子级表面清洁的样品，以备后续测试或工艺过程
四、设备特色：
超高真空Plasma表面清洗设备与LEED-AES联用，快速有效进行样品表面处理并获得表面信息。
主要仪器管理员： 胡楠(电话:13032013903)
仪器管理员： 沈阳(电话:13914729068)
工作时间： 08:30-12:00;13:30-17:30
最小可预约时间段： 1 小时
最大可预约时间段： 168 小时
日历最小单位： 0.5 小时
最近提前预约时间： 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间： 15 分钟
失约保护时间： 15 分钟
断电延时时间： 30 秒
最短重上电时间： 5 秒
使用超时提醒： 120 秒
最大有效预约次数： 5 次/天
无代价撤销预约时间： 1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
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