仪器生产商： XXX
资产编号： SN201907051
资产负责人： ----
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：
RTA超高真空快速退火炉
型号：自研非标 沈阳科仪
关键参数：上下加热炉最高设定加热温度：1000℃
样品最高加热速率：50℃/s，即样品常温升温至1000℃最少20s
炉丝最高加热速率：50℃/min，可根据程序精准控制
设定上下炉温1000℃时真空度：优于5×10-8 Torr
加热控温精度：1℃
温度均匀性：优于5%
工艺气体：N2；H2；Ar
气体流量：小于20sccm
可处理的样品尺寸：2英寸
预约提醒：
设备适用于处理两英寸样品，样品尺寸不符合的应准备样品托进样
样品带光刻胶导电胶等有机物不可进行工艺
处理温度不可超过样品熔点
规定设定温度大于800℃保温时间不超过10min，有特殊处理需求应提前和项目联络人申请
主要仪器管理员： 胡楠(电话:13032013903)
仪器管理员： 沈阳(电话:13914729068)
仪器管理员： 张亚宾(电话:18361005693)
工作时间： 08:30-12:00;13:30-17:30
最小可预约时间段： 1 小时
最大可预约时间段： 168 小时
日历最小单位： 0.5 小时
最近提前预约时间： 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间： 15 分钟
失约保护时间： 15 分钟
断电延时时间： 30 秒
最短重上电时间： 5 秒
使用超时提醒： 120 秒
最大有效预约次数： 5 次/天
无代价撤销预约时间： 1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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