仪器生产商： XXX
资产编号： SN202006007
资产负责人： ----
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：
椭偏仪光源发生器及设备测试台
型号：椭偏仪 J.A.Woollam iSE
关键性能参数：
功能：测量薄膜材料厚度及n与k值
工作压力：大气或真空
样品尺寸: 2英寸~8英寸
波长范围：400~1000nm
波长点数：190个
测试固定角度：45°
应用范围
椭偏仪在薄膜厚度测量方面具有巨大优势，相较于传统探针测量，椭偏仪既不损伤样品表面，又能测试极薄样品。其原理是通过接收不同材料反射光的差异，使用数学模型拟合计算得出所测薄膜的厚度及n，k信息。适用于各种氧化物、氮化物、金属等材料薄膜厚度的测量。测试精度小于0.1nm。
设备特色
可适用于各种材料薄膜厚度的测量。
测试精度小于0.1nm
能够对材料本身的n，k值进行测量
开放材料测试数学模型的搭建
应用领域
各种氮化物，氧化物，金属薄膜厚度的测试
薄膜材料均匀性，致密性的分析
主要仪器管理员： 沈阳(电话:13914729068)
工作时间： 08:30-12:00;13:30-17:30
最小可预约时间段： 0.5 小时
最大可预约时间段： 168 小时
日历最小单位： 0.5 小时
最近提前预约时间： 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数： 10 次/天
无代价撤销预约时间： 1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
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