仪器生产商: XX
资产编号: SN202110020
资产负责人: ----
购买经办人: ----
主要配件: ----
主要参数: ----
仪器介绍:
UHV-ALD
设备型号:SVT UHV-PEALD-P-100
关键参数:
· 6路独立前驱体源管线入口,其中两路前驱体可加热,一路可冷却(-10℃-RT)
· 4路等离子体源(N2, H2, O2, Ar)
· 载气可切换N2,Ar
· 反应腔最高沉积温度500℃
· 原位监测手段:RGA,OES
· 载台独立射频偏压
· 可处理的样品尺寸:≤2英寸
设备特色:
· 超高真空互联:反应腔本底真空可达E-9Torr;传送腔真空优于E-9Torr
· 原位监测:OES,监测等离子的产生;RGA,监测化学反应的进行
· 原子层刻蚀模式:载台独立射频偏压
设备原理:
原子层沉积是将气相前驱体脉冲交替地通入反应室,并在沉积基体上发生表面化学吸附反应,从而逐层形成薄膜。前驱体在表面的化学吸附具有自限制性,因而可通过反应的循环次数来控制薄膜的厚度。原子层刻蚀是首先对表面层进行改性,第二步对其进行去除。利用改性步骤的自限制性,达到逐层去除的目标。
应用领域:
介电材料、II-VI&III-V半导体、二维材料、锂离子电池、催化、光学等领域
试运行阶段仅提供AlN, Al2O3服务,其他服务请提前咨询。
主要仪器管理员: 沈阳(电话:13914729068)
工作时间: 08:30-12:00;13:30-17:30
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间: 15 分钟
失约保护时间: 15 分钟
断电延时时间: 30 秒
最短重上电时间: 5 秒
使用超时提醒: 120 秒
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
---|---|---|
未授权资格 | ||
普通资格 | ||
资深资格 |
序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
---|