1. 机时收费标准为：1400元/小时，1个小时起约，30分钟为预约时间单位累加，实际工艺时间不满30分钟按30分钟收费。

2. 工艺耗材另外收费标准为：

刻蚀：Ar离子刻蚀、清洗或紫外臭氧工艺：300元/30分钟, 不足30分钟按30分钟算；

蒸镀：Ti，150元/次工艺，2元/10nm，不足10 nm按10nm算；

Al，150元/次工艺，10元/10nm，不足10 nm按10nm算；

氧化：静态氧化，200元/次工艺，40元/10分钟, 不足10分钟按10分钟算；

            动态氧化，260元/次工艺，50元/10分钟, 不足10分钟按10分钟算；

说明：

1. 客户工艺需求须与设备管理员进行沟通确认，经设备管理员审核通过后方能实施。由于客户沟通不明确而引起的工艺问题由客户承担。

2. Al、Ti之外的新材料蒸镀，需提前与设备管理员沟通确认，放入新材料产生的拆腔机时、耗材成本（铜圈、石墨坩埚等）、以及拆腔恢复真空所耗机时，由客户承担。

3. 收费优惠情况说明：对于常用客户，年度使用该设备的费用累积超过40万元（人民币）的，后续工艺按上述收费标准算出费用的50%收费。

主要仪器管理员： 刘宏伟(电话:15105601796)

仪器管理员： 张亚宾(电话:18361005693)

工作时间： 09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段： 0.5 小时

最大可预约时间段： 168 小时

日历最小单位： 0.5 小时

最近提前预约时间： 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时

最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点

预约保护时间： 15 分钟

失约保护时间： 15 分钟

断电延时时间： 30 秒

最短重上电时间： 5 秒

使用超时提醒： 120 秒

最大有效预约次数： 5 次/天

无代价撤销预约时间： 1440 分钟