仪器生产商： ----
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购买经办人： ----
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主要参数： ----
仪器介绍：
主要特点：
本节能型全纤维CVD炉主要应用于高温烧结、化学气相沉积等需要在受控气氛下进行高温处理工艺使用，本炉具有高效、节能环保、科技含量高、实用性强等优点。主要特色：
1. 加热系统:温度控制精准，配备有先进的温控系统，可以实现从室温到上千度的精确加热，并保持恒定的温度分布，具有PID调节、超温报警断电功能等多重安全保护机制，保障操作人员的安全和设备的正常运行；
2. 供气系统，通过引入气体(如氩气、氮气)，质量流量计精确控制气体流量，可以创建一个纯净的反应环境，这对于防止氧化以及促进某些化学反应非常重要；
3. 采用7寸触摸屏，控制温度真空气路系统，操作便捷；
真空互联特色（选填）
无互联，设备存放物理间
关键性能指标
1. 加热温度：最高1200℃，工作温度≤1100℃；
2. 加热区：660mm(220mm*3)；三温区，N型热电偶，3支；各温区独立控温；PID调节，最多30段升降温程序；
3. 气路配置：3路质量流量计，ArH202。气体流量0-200sccm；炉管内气压不可高于0.02MPa
4. 升温速率：0-10℃/min；精度±1℃；功率约8KW；
5. 炉管:80mm石英管；
6. 兼容样品：2英寸；
7. 烧结数据可根据设定的间隔时间作记录并以EXCEL形式导出；
8. 超温报警，断偶报警，漏电保护，可燃气体报警功能
设备功能
硅衬底、蓝宝石衬底、STO等衬底处理
设备案例
无
收费标准：----------------------。
设备管理员：
姓名：刘洋/张亚宾 手机号：18852915859/18361005693
主要仪器管理员： 张亚宾(电话:18361005693)
工作时间： 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段： 0.5 小时
最大可预约时间段： 168 小时
日历最小单位： 0.5 小时
最近提前预约时间： 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间： 15 分钟
失约保护时间： 15 分钟
断电延时时间： 30 秒
最短重上电时间： 5 秒
使用超时提醒： 120 秒
最大有效预约次数： 5 次/天
无代价撤销预约时间： 1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
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