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首页 >> 仪器预览 >> 1.3 源炉存储腔

1.3 源炉存储腔

仪器分类：材料生长平台

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

仪器生产商： ----

购置日期： 0000-00-00

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号：费勉

放置房间号： ----

仪器生产商： ----

资产编号： ----

资产负责人： ----

购买经办人： ----

主要配件： ----

主要参数： ----

仪器介绍：

主要特点：

源炉存储腔是一种用于专门存放源炉和样品的真空腔体，在半导体材料制备、芯片制造等领域有着重要应用，主要特色:

1. 防止活性材料氧化和污染;

2. 保持源炉性能稳定;

3. 保持生长后特别重要的样品表面不被污染。

真空互联特色（选填）

设备与真空互联管道对接完成，位于真空互联管道第1支线

关键性能指标

1. 极限真空度优于3×10^-10torr

2. 可存放2英寸样品&样品托，存储工位≥15;；

3. 电控系统:PLC+触摸屏控制；

4. 蒸发源存放接口：1个CF100 快速进样法兰，3个CF63束源法兰，2个CF35束源法兰；

设备功能

源炉存储腔是一种用于存放束源炉和样品的真空腔体

姓名：张亚宾/蒋勤文手机号：18361005693/18583947278

使用指南 more>>

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