仪器生产商： ----
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仪器介绍：
二、设备型号、关键性能参数 设备型号：ION-200 IMPLANTATION SYSTEM 关键性能参数： 离子能量：0-200 eV连续可调 离子束斑：≤10 μm 注入离子种类：Se、Te等 位移范围：50×50 mm（精度1 μm） 样品规格：2英寸样品托，真空互联传递 |
三、设备原理 极低能离子注入机采用低能电子弹性碰撞离子转移能量的新机制产生低能离子：热电子灯丝发射电子束，经加速栅极加速，与热蒸发的离子发生弹性碰撞，将动能精确转移给离子，从而获得极低能离子束。 四、应用范围 低维材料及器件的表层无损掺杂（单层二硫化钼、氧化镓等薄层微电子材料） 半导体超浅结制造 光学器件表面改性 配合束斑扫描和掩膜版实现图案化PN结制造
五、设备特色 极低能（0-200 eV）离子产生和控制系统，可控性高，实现薄膜材料无损掺杂 离子束斑≤10 μm，可进行高精度定点掺杂 1 μm×1 μm位移精度、50×50 mm工作范围，满足高精度定位要求 采用真空互联标准设计，可与实验站其他设备无缝对接，2英寸样品托自动传递 支持图案化注入、位置漂移补偿、AI视觉识别与数据处理分析四大功能
六、应用领域 二维材料与器件、半导体超浅结、光学器件 |
主要仪器管理员： 李忠峰(电话:15255141841)
工作时间： 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段： 0.5 小时
最大可预约时间段： 168 小时
日历最小单位： 0.5 小时
最近提前预约时间： 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间： 15 分钟
失约保护时间： 15 分钟
断电延时时间： 30 秒
最短重上电时间： 5 秒
使用超时提醒： 120 秒
最大有效预约次数： 5 次/天
无代价撤销预约时间： 1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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