M-MBE操作手册

1·实验前准备

1.1按照实验室安全要求穿戴好自己的实验服，（佩戴手套、口罩、防尘帽和护目镜依实验条件决定），与实验无关的个人包、衣物勿带入实验室。

1.2实验前确认：设备处于完好状态，前序实验记录登记正常，与厂务确认各气体，冷却水，电力均处于正常可用状态。

1.3 确认打开冷却水开关，如图3。确保MBE设备处于真空状态，分子泵1000Hz、820Hz，真空计工作状态，记录真空度。开启离子泵时，需注意待真空降到1.2*10^-9mbar左右，（离子泵HV-1对应MBE腔室, 离子泵HV-2对应转接腔室，可先除气）。若实验需要较高真空（10^-11mbar