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3.3 低温强磁场综合物性测试设备（PPMS）
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2.4 复杂环境模拟系统
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2.4 超净间
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2.4 化学间
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2.4 物理间
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2.1 四腔磁控溅射设备
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2.2 等离子体清洗机（Plasma-2）
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2.2 极低能离子注入机
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2.4 喷砂间
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1.3 衬底及束源储存腔
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1.3 源炉存储腔
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1.1 衬底处理管式炉
| 仪器名称 | 2026-11-09(周一) | 2026-11-10(周二) | 2026-11-11(周三) | 2026-11-12(周四) | 2026-11-13(周五) | 2026-11-14(周六) | 2026-11-15(周日) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1.3 真空管式炉-1 | 10:00-20:00 已被预约 | ||||||
| 2.4 椭偏仪 | |||||||
| 3.2 二维（掠入射）小角/广角 X射线散射线站（2D（GI）SAXS/WAXS） | 13:30-15:30 已被预约 15:30-17:30 已被预约 13:00-15:00 已被预约 | 15:00-17:00 已被预约 | 16:30-17:30 已被预约 17:30-18:30 已被预约 | 10:00-17:00 已被预约 | 10:00-17:30 已被预约 | 09:00-12:00 已被预约 | |
| 3.3 低温强磁场综合物性测试设备（PPMS） | |||||||
| 2.4 复杂环境模拟系统 |
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 3.2 扫描电子显微镜（SEM（CL））
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 3.2 红外近场光学显微镜（SNOM）
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仪器名称： 3.2 扫描电子显微镜（SEM（CL））
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仪器名称： 1.2 氧化物分子束外延（（O）MBE）
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仪器名称： 3.3 聚焦离子束显微镜（FIB）
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仪器名称： 3.3 聚焦离子束显微镜（FIB）
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