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4. 扫描电子显微镜（SEM（CL））
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Nova NanoSEM450
放置房间号： 上善苑大厅
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5. 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
仪器分类： 材料生长平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： PICOSUN™ R-200 ALD Advanced
放置房间号： 上善苑大厅
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