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5. 超高真空等离子体清洗机（Plasm...
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Uni-Bulb RF plasma
放置房间号： 上善苑大厅
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3. 高能量分辨 、 角分辨光电子谱仪（...
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： DA30L ARPES SYSTEM
放置房间号： 上善苑大厅
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1. 光发射电子显微镜（PEEM）
仪器分类： 材料生长平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： SPECS PEEM P90
放置房间号： 上善苑大厅
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4. 红外近场光学显微镜（SNOM）
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Anasys nanoIR2-s
放置房间号： ----
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3. 近常压X射线光电子能谱仪（（NAP...
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： SPECS NAP-XPS
放置房间号： 上善苑大厅
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2. 近常压扫描隧道显微镜（（NAP）S...
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态： （未知用户）
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： SPECS NAP-STM
放置房间号： 上善苑大厅
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5. 超高真空磁控溅射（SPUTTER）
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： UHV Sputter System sputter-24
放置房间号： 上善苑大厅
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1. 氧化物分子束外延（（O）MBE）
仪器分类： 材料生长平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Octoplus-O 400
放置房间号： 上善苑大厅
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2. 四探针扫描隧道显微镜（（4P）ST...
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态： （未知用户）
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： ScientaOmicron LT NANOPROBE
放置房间号： 上善苑大厅
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3. 飞行时间二次离子质谱仪（TOF-S...
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态： （未知用户）
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： TOF.SIMS5-100
放置房间号： 上善苑大厅
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2. 超低温扫描隧道显微镜（（ULT）S...
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态： （未知用户）
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： UHV-STM
放置房间号： 上善苑大厅
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4. 扫描电子显微镜（SEM（CL））
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Nova NanoSEM450
放置房间号： 上善苑大厅
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5. 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
仪器分类： 材料生长平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： PICOSUN™ R-200 ALD Advanced
放置房间号： 上善苑大厅
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